SURFACE WAVE SENSOR DEVICE

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung, die ein, insbesondere piezoelektrisches, Trägermaterial aufweist. Ferner umfasst die Sensorvorrichtung mindestens einen Interdigitaltransducer, welcher als Sender (IDTs) und als Empfänger (IDTe) ausgebildet ist und auf dem Trägermaterial angeordnet ist,...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHMID, Silvan, ARTHABER, Holger, KÄHLER, Hendrik
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung, die ein, insbesondere piezoelektrisches, Trägermaterial aufweist. Ferner umfasst die Sensorvorrichtung mindestens einen Interdigitaltransducer, welcher als Sender (IDTs) und als Empfänger (IDTe) ausgebildet ist und auf dem Trägermaterial angeordnet ist, oder mindestens einen Interdigitaltransducer, welcher als Sender (IDTs) und mindestens einen Interdigitaltransducer welcher als Empfänger (IDTe) ausgebildet ist und ebenfalls auf dem Trägermaterial angeordnet ist. Die Sensorvorrichtung umfasst weiter, mindestens einem mechanischen Resonator (MR), welcher zu dem IDTs in einem Abstand (A) und zu dem IDTe in einem Abstand (B) auf dem Trägermaterial angeordnet ist, wobei die Sensorvorrichtung eingerichtet ist, dass eine von dem IDTs ausgesendete Oberflächenwelle als Sendesignal den MR in mechanische Schwingung versetzt und eine von dem schwingenden MR emittierte Oberflächenwelle als Empfangssignal in Richtung des IDTe läuft und in diesem ein Messsignal auslöst. The invention relates to a sensor device which has a carrier material, in particular a piezoelectric carrier material. The sensor device also comprises: at least one interdigital transducer which is designed as a transmitter (IDTs) and as a receiver (IDTe) and is positioned on the carrier material; or at least one interdigital transducer which is designed as a transmitter (IDTs) and at least one interdigital transducer which is designed as a receiver (IDTe) and is also positioned on the carrier material. The sensor device also comprises at least one mechanical resonator (MR) which is positioned on the carrier material at a distance (A) from the IDTs and at a distance (B) from the IDTe, wherein the sensor device is designed so that a surface wave emitted by the IDTs as a transmission signal causes the MR to vibrate mechanically and a surface wave emitted by the vibrating MR travels in the direction of the IDTe as a received signal and triggers a measurement signal in said IDTe. L'invention concerne un dispositif de détection doté d'un matériau porteur, en particulier d'un matériau porteur piézoélectrique. Le dispositif de détection comprend également : au moins un transducteur interdigital conçu comme émetteur (TIDs) et comme récepteur (TIDe) et placé sur le matériau porteur ; ou au moins un transducteur interdigital conçu comme émetteur (TIDs) et au moins un transducteur interdigital conçu comme récepteur (TIDe) et également placé sur le matériau porteur. Le