REGION-DENSITY BASED MISALIGNMENT INDEX FOR IMAGE ALIGNMENT

An improved method and system for image alignment of an inspection image are disclosed. The improved method and system comprises a misalignment index based on applying a density function to both a sample image and a reference image at a region of interest. One or more metrics, such as cross-correlation of the sample and reference images, can be used to derive a region-density based misalignment index from the density-function images. The index can yield a unique alignment solution that is robust to noise and other errors. Un procédé et un système améliorés permettant d'effectuer un alignement d'image sur une image d'inspection sont divulgués. Le procédé et le système améliorés comprennent un indice de désalignement basé sur l'application d'une fonction de densité à la fois à une image d'échantillon et à une image de référence au niveau d'une région d'intérêt. Une ou plusieurs mesures, telles qu'une corrélation croisée de l'échantillon et des images de référence, peuvent être utilisées pour dériver un indice de désalignement basé sur la densité de région à partir des images à fonction de densité. L'indice peut produire une solution d'alignement unique qui est résistante au bruit et à d'autres erreurs.