HYBRID GAS SENSOR

The present disclosure relates to a miniaturized gas sensor that can be used as a gas detector and/or air quality monitor. It relates in particular to a hybrid gas sensor based on the combination of infrared and semiconductor metal oxide (SMO) technologies. Its manufacturing cost and its power consumption are minimized by the use of a common heating microplate placed above a dielectric membrane in the optical chamber. La présente divulgation concerne un capteur miniaturisé de gaz pouvant être utilisé comme détecteur de gaz et/ou moniteur de la qualité de l'air. Elle concerne en particulier un capteur de gaz hybride, basé sur la combinaison des technologies à base d'infrarouge et à base d'oxyde métallique semi-conducteur (« SMO »). Son coût de fabrication et sa consommation énergétique sont minimisés par l'utilisation d'une microplaque chauffante commune placée au-dessus d'une membrane diélectrique dans la chambre optique.