METHOD FOR LOCALIZING A REGION OF INTEREST IN A SAMPLE AND MICROMACHINING THE SAMPLE USING A CHARGED PARTICLE BEAM

The invention relates to a method and apparatus for localization of a region of interest with a fluorescent entity inside a sample (20) and for micromachining said sample in an integral fluorescence microscope/charged particle beam apparatus (1). The optics of the fluorescence microscope for imaging the sample onto a detector comprises an astigmatic optical component (10). The method comprises the steps of: - (201) determine a position of a focal plane of the fluorescence microscope with respect to a reference plane in said integral apparatus (1); -(202) obtaining an image of the fluorescent entity in the sample using the fluorescence microscope; -(203) determine a position of the fluorescent entity with respect to a focal plane of the fluorescence microscope, by evaluation of a degree of astigmatism and/or an ellipticity of a fluorescence intensity profile of the image of the fluorescent entity; and -(204) micromachining the sample around the determined position using a charged particle beam (30). L'invention concerne un procédé et un appareil de localisation d'une région d'intérêt avec un échantillon (20) contenant une entité fluorescente, et le micro-usinage de cet échantillon à l'aide d'un microscope à fluorescence intégré à un dispositif à faisceau de particules chargées (1). L'optique du microscope à fluorescence pour l'imagerie de l'échantillon sur un détecteur comprend un composant optique astigmatique (10). Le procédé comprend les étapes suivantes : (201) la détermination d'une position d'un plan focal du microscope à fluorescence par rapport à un plan de référence dans ledit dispositif intégral (1) ; (202) l'obtention d'une image de l'entité fluorescente dans l'échantillon à l'aide du microscope à fluorescence ; (203) la détermination d'une position de l'entité fluorescente par rapport à un plan focal du microscope à fluorescence, par l'évaluation d'un degré d'astigmatisme et/ou d'une ellipticité d'un profil d'intensité de fluorescence de l'image de l'entité fluorescente ; et (204) le micro-usinage de l'échantillon autour de la position déterminée à l'aide d'un faisceau de particules chargées (30).