METHOD FOR IGNITING AND SUPPLYING A LASER OR PLASMA WITH POWER, AND PLASMA OR LASER SYSTEM

Ein Verfahren zur verbesserten Zündung und Versorgung eines Lasers oder eines Bearbeitungsplasmas in einer Entladungskammer (30) mit elektrischer Leistung umfasst: a. Bereitstellung von Leistung von einem Ausgangsanschluss (24) eines Verstärkers (12) an die Entladungskammer (30), wobei der Verstärker (12) mindestens zwei Verstärkerpfade (14, 16) umfasst, die jeweils ein Signal an einen Kombinierer (22) liefern, wobei der Kombinierer (22) einen Ausgangsanschluss (24) und einen Isolationsanschluss (26) aufweist und so konfiguriert ist, dass er die Signale in Abhängigkeit von deren Amplituden- und/oder Phasenbeziehung kombiniert und Leistung an den Ausgangsanschluss (24) und/oder den Isolationsanschluss (26) liefert, b. Ansteuern einer an den Isolationsanschluss (26) und Masse angeschlossenen Impedanzschaltanordnung (27, 27a, 27b) gemäß eines ersten Ansteuermodus, um eine Zündung des Lasers oder Bearbeitungsplasmas durchzuführen, c. Ansteuern der an den Isolationsanschluss (26) angeschlossenen Impedanzschaltanordnung (27, 27a, 27b) gemäß eines zweiten Ansteuermodus, um einen Laser zu betreiben oder ein Bearbeitungsplasma in der Entladungskammer (30) aufrecht zu erhalten. A method for igniting and supplying a laser or a processing plasma in a discharge chamber (30) with electrical power more efficiently comprises: a. providing power from an output terminal (24) of an amplifier (12) to the discharge chamber (30), wherein the amplifier (12) comprises at least two amplifier paths (14, 16), each of which delivers a signal to a coupler (22), wherein the coupler (22) has an output terminal (24) and an isolation terminal (26) and is configured in such a way that it combines the signals depending on their amplitude or phase relationship and delivers power to the output terminal (24) and/or the isolation terminal (26), b. controlling, according to a first control mode, an impedance switching unit (27, 27a, 27b) connected to the isolation terminal (26) and ground, in order to ignite the laser or processing plasma, c. controlling, according to a second control mode, the impedance switching unit (27, 27a, 27b) connected to the isolation terminal (26), in order to operate a laser or to maintain a processing plasma in the discharge chamber (30). L'invention concerne un procédé d'allumage et d'alimentation en énergie électrique de manière plus efficace d'un laser ou d'un plasma de traitement dans une chambre de décharge (30) qui comprend : une puissance de fourniture d'une b