WEDGE SEAL FOR EFEM FRAME AND PANEL SEAMS

A seal arrangement for an enclosure in a substrate processing system includes an opening defined in a surface of the enclosure and a seam defined between adjacent first and second sections of the surface of the enclosure. The seam is in fluid communication with an interior of the enclosure via the opening. A cutout is defined in an edge of one of the first and second sections adjacent to the seam. A seal is arranged in the cutout and adjacent to the seam between the first and second sections. L'invention concerne un agencement d'étanchéité pour une enceinte dans un système de traitement de substrat comprenant une ouverture définie dans une surface de l'enceinte et une couture définie entre des première et seconde sections adjacentes de la surface de l'enceinte. La couture est en communication fluidique avec un intérieur de l'enceinte par l'intermédiaire de l'ouverture. Une découpe est définie dans un bord de l'une des première et seconde sections adjacentes à la couture. Un joint d'étanchéité est disposé dans la découpe et adjacent à la jonction entre les première et seconde sections.