OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS

Ein optisches System (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend eine erste Komponente (102), eine zweite Komponente (104), und eine Ausgleichsvorrichtung (200, 300), die zwischen der ersten Komponente (102) und der zweiten Komponente (104) angeordnet ist, wobei die Ausgleichsvorrichtung (200, 300) als Festkörpergelenke fungierende Stege (212, 214, 216, 218, 230, 232, 234, 236, 312, 314, 318, 320) aufweist, die elastisch verformbar sind, um die Ausgleichsvorrichtung (200, 300) an eine Verkippung der zweiten Komponente (104) relativ zu der ersten Komponente (102) um eine erste Raumrichtung (x) und/oder um eine sich von der ersten Raumrichtung (x) unterscheidende zweite Raumrichtung (y) anzupassen, wobei die Ausgleichsvorrichtung (200, 300) einen Befestigungsring (202, 302) und einen um den Befestigungsring (202, 302) umlaufenden Innenring (204, 304) aufweist, wobei der Innenring (204, 304) mit Hilfe innerer Stege (212, 214, 216, 218, 312, 314) mit dem Befestigungsring (202, 302) verbunden ist, und wobei der Innenring (204, 304) mit Hilfe einer elastischen Verformung der inneren Stege (212, 214, 216, 218, 312, 314) um eine erste Kippachse (228, 316) relativ zu dem Befestigungsring (202, 302) verkippbar ist. The invention relates to an optical system (100) for a projection exposure apparatus (1), the optical system comprising a first component (102), a second component (104) and a compensation device (200, 300) which is arranged between the first component (102) and the second component (104), the compensation device (200, 300) comprising connecting portions (212, 214, 216, 218, 230, 232, 234, 236, 312, 314, 318, 320) which function as solid-body articulations and are elastically deformable in order to adapt the compensation device (200, 300) to a tilting of the second component (104) relative to the first component (102) about a first spatial direction (x) and/or about a second spatial direction (y) which differs from the first spatial direction (x), the compensation device (200, 300) comprising a fastening ring (202, 302) and an inner ring (204, 304) which surrounds the fastening ring (202, 302), the inner ring (204, 304) being connected to the fastening ring (202, 302) by means of inner connecting portions (212, 214, 216, 218, 312, 314), and the inner ring (204, 304) being tiltable relative to the fastening ring (202, 302) about a first tilting axis (228, 316) by means of an elastic deformation of the inner connecting portions (212, 214, 21