FLOW GUIDE STRUCTURES AND HEAT SHIELD STRUCTURES, AND RELATED METHODS, FOR DEPOSITION UNIFORMITY AND PROCESS ADJUSTABILITY

The present disclosure relates to flow guide structures and heat shield structures, and related methods, for deposition uniformity and process adjustability. In one implementation, an apparatus for substrate processing includes a chamber body that includes a processing volume. The apparatus includes one or more heat sources. The apparatus includes a flow guide structure positioned in the processing volume. The flow guide structure includes one or more first flow dividers that divide the processing volume into a plurality of flow levels, and one or more second flow dividers oriented to intersect the one or more first flow dividers and divide each flow level of the plurality of flow levels into a plurality of flow sections. The flow guide structure includes one or more third flow dividers oriented to intersect the one or more second flow dividers and divide the plurality of flow sections into a plurality of flow zones. La présente invention concerne des structures de guidage d'écoulement et des structures de protection thermique et des méthodes associées, destinées à l'uniformité de dépôt et à l'aptitude à l'ajustement de procédés. Dans un mode de réalisation, un appareil de traitement de substrat comprend un corps de chambre qui comprend un volume de traitement. L'appareil comprend une ou plusieurs sources de chaleur. L'appareil comprend une structure de guidage d'écoulement positionnée dans le volume de traitement. La structure de guidage d'écoulement comprend un ou plusieurs premiers diviseurs d'écoulement, qui divisent le volume de traitement en une pluralité de niveaux d'écoulement, et un ou plusieurs deuxièmes diviseurs d'écoulement orientés, destinés à croiser ledit un ou lesdits plusieurs premiers diviseurs d'écoulement et à diviser chaque niveau d'écoulement de la pluralité de niveaux d'écoulement en une pluralité de sections d'écoulement. La structure de guidage d'écoulement comprend un ou plusieurs troisièmes diviseurs d'écoulement orientés pour croiser ledit un ou lesdits plusieurs deuxièmes diviseurs d'écoulement et diviser la pluralité de sections d'écoulement en une pluralité de zones d'écoulement.