SCRIBE TABLE AND SCRIBE DEVICE

This scribe table (6) comprises grooves (62a to 62c) that are formed in a mounting surface (61) on which a frame unit (20) is mounted, and suction holes (63a to 63c) that are connected to the grooves (62a to 62c). The grooves (62a to 62c) have the shape of a partially interrupted loop in plan view and are formed in a region corresponding to a gap (G1) between the inner periphery of an opening (21a) in a frame ring (21) and the outer periphery of a workpiece (23). A degassing region (64) in which the grooves (62a to 62c) are interrupted is disposed on the side opposite the suction holes (63a to 63c) with respect to the center of the loop. L'invention concerne une table de traçage (6) comprenant des rainures (62a à 62c) qui sont formées dans une surface de montage (61) sur laquelle une unité de cadre (20) est montée et des trous d'aspiration (63a à 63c) qui sont reliés aux rainures (62a à 62c). Les rainures (62a à 62c) présentent la forme d'une boucle partiellement interrompue dans une vue en plan et sont formées dans une région correspondant à un interstice (G1) entre la périphérie interne d'une ouverture (21a) dans un anneau de cadre (21) et la périphérie externe d'une pièce à travailler (23). Une région de dégazage (64) dans laquelle les rainures (62a à 62c) sont interrompues est disposée sur le côté opposé aux trous d'aspiration (63a à 63c) par rapport au centre de la boucle. スクライブテーブル（６）は、フレームユニット（２０）が載置される載置面（６１）に形成された溝（６２ａ～６２ｃ）と、溝（６２ａ～６２ｃ）に繋がる吸引孔（６３ａ～６３ｃ）と、を備える。溝（６２ａ～６２ｃ）は、平面視において、ループの一部が途切れた形状を有し、フレームリング（２１）の開口（２１ａ）の内周と被加工物（２３）の外周との間の隙間（Ｇ１）に対応する領域に形成される。ループの中心に対して吸引孔（６３ａ～６３ｃ）と反対側に、溝（６２ａ～６２ｃ）が途切れた脱気領域（６４）が配置される。