MICROMECHANICAL COMB STRUCTURE MADE OF GLASS, AND ASSOCIATED METHOD AND USE

Zur Ausweitung der Anwendungsmöglichkeiten des vorbekannten LIDE (laser induced deep etching) Verfahrens wird vorgeschlagen, eine mikromechanische Kammstruktur (25) durch Setzen von einer Vielzahl von Laserpulsen (4) auf einem Glas-Substrat (3) mit nachfolgendem nasschemischen Ätzschritt zum Freilegen der Kammstruktur (25) herzustellen und dabei die Lage derjenigen Laserpulse (4) genau zu kontrollieren, die die äußere Kontur (6) von jeweiligen Fingern (24) der Kammstruktur (25) definieren. Dadurch wird es möglich, sehr schmale Finger (24) auszubilden, die gleichmäßig ausgebildete Seitenwände (13) aufweisen, wodurch sehr geringe Spaltmaße (35) und eine gleichmäßige elektrostatische Aktuierung der Kammstruktur (25) ermöglicht wird. Durch Kontrolle der Phasenlage φ und/oder des Ausmaßes des sidewall scalloping der Finger (24) ist es zudem möglich, die mechanischen Eigenschaften der Kammstruktur (25) günstig zu beeinflussen bzw. gezielt einzustellen. In order to extend the possible applications of the previously known LIDE (laser induced deep etching) process, according to the invention a micromechanical comb structure (25) is produced by applying a plurality of laser pulses (4) to a glass substrate (3) with a subsequent wet-chemical etching step in order to expose the comb structure (25), and the position of those laser pulses (4) which define the outer contour (6) of fingers (24) of the comb structure (25) are precisely controlled. This makes it possible to form very narrow fingers (24) that have uniform side walls (13), allowing very small gaps (35) and uniform electrostatic activation of the comb structure (25). By controlling the phase position φ and/or the extent of the sidewall scalloping of the fingers (24), it is also possible to favourably influence or adjust, in a targeted manner, the mechanical properties of the comb structure (25). Afin d'élargir les applications possibles du processus LIDE (gravure profonde induite par laser) connu jusqu'à présent, selon l'invention, une structure en peigne micromécanique (25) est produite en appliquant une pluralité d'impulsions laser (4) sur un substrat en verre (3) avec une étape ultérieure de gravure chimique par voie humide afin de rendre visible la structure en peigne (25), et la position des impulsions laser (4) qui délimitent le contour extérieur (6) des dents (24) de la structure en peigne (25) est réglée avec précision. Ceci permet de former des dents très étroites (24) qui ont des parois latérales unif