ASSESSMENT APPARATUS AND METHODS

The present disclosure relates to apparatus and methods for assessing samples using a plurality of charged particle beams. In one arrangement, at least a subset of a beam grid of a plurality of charged particle beams and respective target portions of a sample surface are scanned relative to each other to process the target portions. Signal charged particles from the sample are detected to generate detection signals. A sample surface topographical map is generated that represents a topography of the sample surface by analyzing the detection signals. La présente divulgation concerne un appareil et des procédés d'évaluation d'échantillons à l'aide d'une pluralité de faisceaux de particules chargées. Dans un agencement, au moins un sous-ensemble d'une grille de faisceau d'une pluralité de faisceaux de particules chargées et de parties cibles respectives d'une surface d'échantillon sont balayés les uns par rapport aux autres pour traiter les parties cibles. Des particules chargées de signal provenant de l'échantillon sont détectées pour générer des signaux de détection. Une carte topographique de surface d'échantillon est générée, qui représente une topographie de la surface d'échantillon par analyse des signaux de détection.