MULTI-CAPACITOR MODULE INCLUDING A NESTED METAL-INSULATOR-METAL (MIM) STRUCTURE

A multi-capacitor module includes a nested metal-insulator-metal (MIM) structure including a cup-shaped first electrode, a cup-shaped first insulator formed over the cup-shaped first electrode, a cup-shaped second electrode formed over the cup-shaped first insulator, a cup-shaped second insulator formed over the cup-shaped second electrode, and a third electrode formed over the cup-shaped second insulator. The cup-shaped first electrode, the cup-shaped second electrode, and the cup-shaped first insulator define a first capacitor, and the cup-shaped second electrode, the third electrode, and the cup-shaped second insulator define a second capacitor physically nested in the first capacitor. Un module à condensateurs multiples comprend une structure métal-isolant-métal imbriquée (MIM) comprenant une première électrode en forme de coupelle, un premier isolant en forme de coupelle formé sur la première électrode en forme de coupelle, une seconde électrode en forme de coupelle formée sur le premier isolant en forme de coupelle, un second isolant en forme de coupelle formé sur la seconde électrode en forme de coupelle, et une troisième électrode formée sur le second isolant en forme de coupelle. La première électrode en forme de coupelle, la deuxième électrode en forme de coupelle et le premier isolant en forme de coupelle définissent un premier condensateur, et la deuxième électrode en forme de coupelle, la troisième électrode et le deuxième isolant en forme de coupelle définissent un deuxième condensateur emboîté physiquement dans le premier condensateur.