CENTERING DEVICE, CENTERING METHOD, AND BOARD PROCESSING DEVICE

This invention relates to a centering device, a centering method and a board processing device using the centering technique associated therewith wherein the center of a disciform board mounted on the upper surface of a board supporting part can be caused to coincide with the center of the board supporting part with high precision. This invention comprises: a gas supplying unit that supplies a gas between the board mounted on the upper surface of the board supporting part and the board supporting part; and a gas controlling unit that controls the gas supplying unit such that the gas intervenes between the board and the board supporting part during the positioning of the board. According to this invention, the frictional force between the lower surface of the board and the upper surface of the board supporting part is reduced because of the intervention of the gas between the board and the board supporting part. As a result, the influence of the frictional force is suppressed, thereby improving the centering precision. La présente invention concerne un dispositif de centrage, un procédé de centrage et un dispositif de traitement de carte utilisant la technique de centrage associée à celui-ci, le centre d'une carte de disciforme montée sur la surface supérieure d'une partie de support de carte pouvant être amené à coïncider avec le centre de la partie de support de carte avec une précision élevée. La présente invention comprend : une unité d'alimentation en gaz qui fournit un gaz entre la carte montée sur la surface supérieure de la partie de support de carte et la partie de support de carte ; et une unité de commande de gaz qui commande l'unité d'alimentation en gaz de sorte que le gaz intervient entre la carte et la partie de support de carte pendant le positionnement de la carte. Selon la présente invention, la force de frottement entre la surface inférieure de la carte et la surface supérieure de la partie de support de carte est réduite en raison de l'intervention du gaz entre la carte et la partie de support de carte. Par conséquent, l'influence de la force de frottement est supprimée, ce qui permet d'améliorer la précision de centrage. この発明は、基板支持部の上面に載置された円板状の基板の中心を基板支持部の中心に高精度に一致させることができるセンタリング装置、センタリング方法、ならびに当該センタリング技術を用いた基板処理装置に関するものである。この発明は、基板支持部の上面に載置された基板と基板支持部との間に気体を供給する気体供給部と、基板の位置決めの際に基板と基板支持部との間に気体が介在するように、気体供給部を制御する気体制御部と、を備えている。この発明では、基板と基板支持部との間に気体が介在することで、基板の下面と基板支持部の上面との間の摩擦力が低下する。その結果、摩擦力の影響が抑制され、センタリング精度が向上する。