IMPROVED SHOWERHEAD PUMPING GEOMETRY FOR PRECURSOR CONTAINMENT

Gas injector with a vacuum channel having an inlet opening in the front face and an outlet opening in the back face of the injector are described. The vacuum channel comprises a first leg extending a first length from the inlet opening in the front face at a first angle relative to the front face and a second leg extending a second length from the first leg to the outlet opening in the back face at a second angle relative to the front face. Processing chambers and methods of use comprising a plurality of processing regions bounded around an outer peripheral edge by one or more vacuum channel. A first processing region has a first vacuum channel with a first outer diameter and a second processing region has a second vacuum channel with a second outer diameter, the first outer diameter being less than the second outer diameter. L'invention concerne un injecteur de gaz comportant un canal à vide ayant une ouverture d'entrée dans la face avant et une ouverture de sortie dans la face arrière de l'injecteur. Le canal à vide comprend une première patte s'étendant sur une première longueur depuis l'ouverture d'entrée dans la face avant, à un premier angle par rapport à la face avant, et une seconde patte s'étendant sur une seconde longueur depuis la première patte jusqu'à l'ouverture de sortie dans la face arrière, à un second angle par rapport à la face avant. L'invention concerne également des chambres de traitement et des procédés d'utilisation comprenant une pluralité de régions de traitement délimitées autour d'un bord périphérique externe par un ou plusieurs canaux à vide. Une première région de traitement présente un premier canal à vide d'un premier diamètre externe et une seconde région de traitement présente un second canal à vide d'un second diamètre externe, le premier diamètre externe étant inférieur au second diamètre externe.