MULTI-ZONE HEATER WITH MINIMUM RF LOSS

Exemplary substrate support assemblies may include an electrostatic chuck body defining a substrate support surface that defines a substrate seat. The substrate support assemblies may include a support stem coupled with the electrostatic chuck body. The substrate support assemblies may include an upper heater embedded within the electrostatic chuck body. The upper heater may include a center heater zone and one or more annular heater zones that are concentric with the center heating zone. The substrate support assemblies may include a lower heater embedded within the electrostatic chuck body at a position below the upper heater. The lower heater may include a plurality of arcuate heater zones. L'invention concerne des exemples d'ensembles de support de substrat qui peuvent comprendre un corps de mandrin électrostatique définissant une surface de support de substrat qui définit un siège de substrat. Les ensembles de support de substrat peuvent comprendre une tige de support couplée au corps de mandrin électrostatique. Les ensembles support de substrat peuvent comprendre un dispositif de chauffage supérieur incorporé dans le corps de mandrin électrostatique. Le dispositif de chauffage supérieur peut comprendre une zone de chauffage centrale et une ou plusieurs zones de chauffage annulaires qui sont concentriques avec la zone de chauffage centrale. Les ensembles de support de substrat peuvent comprendre un dispositif de chauffage inférieur intégré à l'intérieur du corps de mandrin électrostatique à une position au-dessous du dispositif de chauffage supérieur. Le dispositif de chauffage inférieur peut comprendre une pluralité de zones de chauffage arquées.