ELECTROMAGNETIC MOTOR SYSTEM, POSTION CONTROL SYSTEM, STAGE APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD OF DETERMINING A MOTOR-DEPENDENT COMMUTATION MODEL FOR AN ELECTROMAGNETIC MOTOR

The invention provides a method of determining a motor-dependent commutation model for an electromagnetic motor, whereby the electromagnetic motor comprises a first member comprising a coil array comprising at least M coils, and a second member comprising a magnet array configured to generate a spatially alternating magnetic field, whereby the first member and the second member are configured to displace relative to each other in N degrees of freedom, N < M, by supplying the at least M coils with respective at least M currents Im, thereby generating forces in the N degrees of freedom, the method comprising the steps of: obtaining a commutation model G for the electromagnetic motor, the general commutation model G providing a relationship between desired forces Fc in the N degrees of freedom and the at least M currents Im applied to the coil array by Im = G * Fc. L'invention concerne un procédé permettant de déterminer un modèle de commutation dépendant du moteur pour un moteur électromagnétique, le moteur électromagnétique comprenant un premier élément comprenant un réseau de bobines comprenant au moins M bobines, et un second élément comprenant un réseau d'aimants configuré de façon à générer un champ magnétique qui alterne dans l'espace, le premier élément et le second élément étant conçus pour se déplacer l'un par rapport à l'autre dans N degrés de liberté, N < M, en fournissant auxdites M bobines au moins M courants Im respectifs, générant ainsi des forces dans les N degrés de liberté, le procédé comprenant les étapes consistant à : obtenir un modèle de commutation G pour le moteur électromagnétique, le modèle de commutation général G fournissant une relation entre les forces souhaitées Fc dans les N degrés de liberté et lesdits M courants Im appliqués au réseau de bobines par Im = G * Fc.