SUBSTRATE CARRIER

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Substratträger zur Aufnahme und zum Transport mehrerer Substrate. The present invention relates to a substrate carrier for receiving and for transporting a plurality of substrates. La présente invention concerne un support de substrat destiné à recevoir et à...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	REISING, Michael, KEMPF, Stefan, NOVAK, Emmerich Manfred, DIPPELL, Torsten, HÜBNER, Simon, ROHRMANN, Reiner
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft einen Substratträger zur Aufnahme und zum Transport mehrerer Substrate. The present invention relates to a substrate carrier for receiving and for transporting a plurality of substrates. La présente invention concerne un support de substrat destiné à recevoir et à transporter une pluralité de substrats.