GAS RECOVERY SYSTEMS AND METHODS

The present disclosure relates to gas recovery systems and methods, and systems including gas recovery systems. In some embodiments, a gas recovery system includes a gas inlet, a compressor, a buffer tank, a variable speed microturbine, one or more sensors, and a control system. A gas input into the gas inlet can be output from a processing tool, and the gas can include hydrogen or ammonia gas. The gas can be used to produce electrical power using the first variable speed microturbine. The sensor, for example, a gas analyzer, a flow meter, or a pressure sensor, can be between the gas inlet and the variable speed microturbine. The control system can be configured to control a speed of the variable speed microturbine in response to a measurement from the sensor. La présente divulgation concerne des systèmes et des procédés de récupération de gaz, et des systèmes comprenant des systèmes de récupération de gaz. Dans certains modes de réalisation, un système de récupération de gaz comprend une entrée de gaz, un compresseur, un réservoir tampon, une microturbine à vitesse variable, un ou plusieurs capteurs, et un système de commande. Un gaz entré dans l'entrée de gaz peut être délivré en sortie à partir d'un outil de traitement, et le gaz peut comprendre de l'hydrogène ou de l'ammoniac gazeux. Le gaz peut être utilisé pour produire de l'énergie électrique au moyen de la première microturbine à vitesse variable. Le capteur, par exemple un analyseur de gaz, un débitmètre, ou un capteur de pression, peut se trouver entre l'entrée de gaz et la microturbine à vitesse variable. Le système de commande peut être conçu pour commander une vitesse de la microturbine à vitesse variable en réponse à une mesure provenant du capteur.