HYBRID NEAR-FIELD SCANNING MICROWAVE MICROSCOPE

The invention describes a scanning probe imaging system with the probe held at a small distance from a sample (7) surface of the part during raster-scanning image acquisition. The interaction between the sample (7) and the probe's cantilever arm (17') is achieved due to microwave near fields formed at the sharp probe tip (18). Due to the near fields, the electrical impedance of the probe depends on the distance between the probe and the sample (7) and on the sample electrical properties, both in the immediate vicinity of the probe tip (18). The microwave detection system senses the electrical impedance of the probe at a set microwave frequency. The probe-sample distance is set and controlled with the use of an optical chromatic confocal displacement sensor as well as with the signals of the microwave detection system. L'invention concerne un système d'imagerie par sonde à balayage dans lequel la sonde est maintenue à une faible distance de la surface de l'échantillon (7) de la pièce pendant l'acquisition de l'image par balayage de trame. L'interaction entre l'échantillon (7) et le bras en porte-à-faux de la sonde (17') est obtenue grâce aux champs proches des micro-ondes formés à la pointe acérée de la sonde (18). En raison des champs proches, l'impédance électrique de la sonde dépend de la distance entre la sonde et l'échantillon (7) et des propriétés électriques de l'échantillon, à proximité immédiate de la pointe de la sonde (18). Le système de détection de micro-ondes détecte l'impédance électrique de la sonde à une fréquence de micro-ondes définie. La distance entre la sonde et l'échantillon est réglée et commandée à l'aide d'un capteur de déplacement confocal chromatique optique et des signaux du système de détection à micro-ondes.