IMAGING EUV OPTICAL UNIT FOR IMAGING AN OBJECT FIELD INTO AN IMAGE FIELD

An imaging EUV optical unit (24) serves for imaging an object field (5) into an image field (11). The EUV optical unit (24) has a plurality of mirrors (M1 to M4) for guiding EUV imaging light (16) at a wavelength of shorter than 30 nm along an imaging beam path from the object field (5) towards the image field (11). The EUV optical unit (24) has four NI mirrors (M1 to M4). The overall transmission of the NI mirrors (M1 to M4) is greater than 10%. The mirrors (M1 to M4) lead to an overall polarization rotation of no more than 10° along the imaging beam path when linearly polarized EUV imaging light (16) is used. This yields an imaging EUV optical unit with an increased EUV throughput while observing exacting demands on the imaging quality. L'invention concerne une unité optique EUV d'imagerie (24) qui sert à imager un champ objet (5) dans un champ image (11). L'unité optique EUV (24) comporte une pluralité de miroirs (M1 à M4) servant à guider une lumière d'imagerie EUV (16) d'une longueur d'onde inférieure à 30 nm le long d'un trajet de faisceau d'imagerie partant du champ d'objet (5) et allant vers le champ d'image (11). L'unité optique EUV (24) comporte quatre miroirs NI (M1 à M4). La transmission globale des miroirs NI (M1 à M4) est supérieure à 10 %. Les miroirs (M1 à M4) permettent une rotation de polarisation globale inférieure ou égale à 10° le long du trajet de faisceau d'imagerie lorsqu'une lumière d'imagerie EUV linéairement polarisée (16) est utilisée. Ceci permet d'obtenir une unité optique EUV d'imagerie ayant un débit EUV accru tout en respectant de rigoureuses exigences de qualité d'imagerie.