TAB ARRANGEMENT FOR RETAINING SUPPORT ELEMENTS OF SUBSTRATE SUPPORT

Embodiments of substrate supports are provided herein, In some embodiments, a substrate support includes: a first plate having a plurality of openings extending into the first plate from an upper surface of the first plate to a bottom surface of each respective opening of the plurality of openings; a plurality of tabs comprising three or more tabs disposed in each respective opening and extending towards the upper surface of the first plate; and a plurality of support elements disposed in each of the plurality of openings, wherein the plurality of tabs are disposed around each of the plurality of support elements and configured to retain the plurality of support elements in the plurality of openings. La présente invention concerne des modes de réalisation de supports de substrat, dans certains modes de réalisation, un support de substrat comprenant : une première plaque ayant une pluralité d'ouvertures s'étendant dans la première plaque à partir d'une surface supérieure de la première plaque jusqu'à une surface inférieure de chaque ouverture respective de la pluralité d'ouvertures ; une pluralité de languettes comprenant au moins trois languettes disposées dans chaque ouverture respective et s'étendant vers la surface supérieure de la première plaque ; et une pluralité d'éléments de support disposés dans chacune de la pluralité d'ouvertures, la pluralité de languettes étant disposées autour de chacun de la pluralité d'éléments de support et conçues pour retenir la pluralité d'éléments de support dans la pluralité d'ouvertures.