SYSTEM FOR PROCESSING WAFER-SHAPED ARTICLES

SYSTEM FOR PROCESSING WAFER-SHAPED ARTICLES

A system for processing wafer-shaped articles, the system comprising: three or more processing stations; and a robotic arm comprising a first set of end effectors including three or more end effectors; wherein the robotic arm is configured to pick up, from a storage unit configured to store a plural...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BAUMGARTNER, Manuel, GRADL, Martin, THAULAD, Peter, BLANK, Richard, PONIKVAR, Matija, REGENFELDER, Daniel, LEDERER, Alexander, PUGGL, Michael, HOHENWARTER, Karl-Heinz, NOVAK, Matthias Boris, VALLANT, Ferdinand, STOWELL, Robert Marshall
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:A system for processing wafer-shaped articles, the system comprising: three or more processing stations; and a robotic arm comprising a first set of end effectors including three or more end effectors; wherein the robotic arm is configured to pick up, from a storage unit configured to store a plurality of wafer-shaped articles, a respective wafer-shaped article with each of the three or more end effectors, and load one of the respective wafer-shaped articles into each of the three or more processing stations. Système de traitement d'articles en forme de tranche, le système comprenant : trois stations de traitement ou plus ; et un bras robotique comprenant un premier ensemble d'effecteurs terminaux comprenant trois effecteurs terminaux ou plus ; le bras robotique étant configuré pour saisir, à partir d'une unité de stockage configurée pour stocker une pluralité d'articles en forme de tranche, un article en forme de tranche respectif avec chacun des trois effecteurs terminaux ou plus, et charger l'un des articles en forme de tranche respectifs dans chacune des trois stations de traitement ou plus.