INKJET PRINTHEAD

A printhead for ejecting one or more printable fluids, the printhead comprising a substrate defining a plurality of MEMS droplet ejectors arranged in a lattice, each comprising a flexible diaphragm, a piezoelectric actuator and at least one MEMS metallisation layer; the substrate further defines CMOS control circuitry comprising at least one CMOS metallisation layer and one or more of conductive connections in at least one said metallisation layer, extending from the CMOS control circuitry to each piezoelectric actuator to actuate the piezoelectric actuators; conductive connections extending through the lattice in at least one said metallisation layer to conduct actuator drive waveforms; and a plurality of bond pads in a discrete zone. The printhead is compact, can be easily fabricated and requires relatively few wired connections. La présente invention concerne une tête d'impression pour éjecter un ou plusieurs fluides imprimables, la tête d'impression comprenant un substrat délimitant une pluralité d'éjecteurs de gouttelettes MEMS agencés dans un réseau, comprenant chacun un diaphragme flexible, un actionneur piézoélectrique et au moins une couche de métallisation MEMS ; le substrat délimite en outre un circuit de commande CMOS comprenant au moins une couche de métallisation CMOS et une ou plusieurs connexions conductrices dans au moins une dite couche de métallisation, s'étendant du circuit de commande CMOS à chaque actionneur piézoélectrique pour actionner les actionneurs piézoélectriques ; des connexions conductrices s'étendant à travers le réseau dans au moins une dite couche de métallisation pour conduire des formes d'onde d'entraînement d'actionneur ; et une pluralité de plots de connexion dans une zone distincte. La tête d'impression est compacte, peut être fabriquée facilement et nécessite relativement peu de connexions câblées.