ANNULAR MICROELECTROMECHANICAL ANGULAR RATE SENSOR

Ein mikroelektromechanischer Drehratensensor (100) weist eine flexible Ringstruktur (110), die in Ruhe einen Kreis formt und geeignet ist, im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Kreises über einem Substrat eine Änregungsschwingung auszuführen, der bei einer Drehung der Ringstruktur (110) eine dur...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	RENDE, Jan Daniel
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS NAVIGATION PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SURVEYING TESTING
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