ANNULAR MICROELECTROMECHANICAL ANGULAR RATE SENSOR

Ein mikroelektromechanischer Drehratensensor (100) weist eine flexible Ringstruktur (110), die in Ruhe einen Kreis formt und geeignet ist, im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Kreises über einem Substrat eine Änregungsschwingung auszuführen, der bei einer Drehung der Ringstruktur (110) eine durch die Corioliskraft erzeugte Detektionsschwingung überlagert wird, und zumindest eine Kopplungsstruktur (120) auf, die mit der Ringstruktur (110) verbunden und derart ausgebildet ist, dass sie geeignet ist, zusammen mit auf dem Substrat feststehenden Elektroden (130) einen Quadraturfehler des Drehratensensors (100) zu kompensieren. The invention relates to a microelectromechanical angular rate sensor (100) having a flexible ring structure (110) which forms a circle in an idle state and which is suitable for producing an excitation oscillation substantially parallel to the plane of the circle above a substrate, said excitation oscillation being superimposed with a detection oscillation produced by a Coriolis force during a rotation of the ring structure (110). The microelectromechanical angular rate sensor also has at least one coupling structure (120) which is connected to the ring structure (110) and is designed so as to be suitable for compensating for a quadrature error of the angular rate sensor (100) together with electrodes (130) which are fixed to the substrate. L'invention concerne un capteur de vitesse angulaire microélectromécanique (100) ayant une structure annulaire flexible (110) qui forme un cercle dans un état de repos et qui est appropriée pour produire une oscillation d'excitation sensiblement parallèle au plan du cercle au-dessus d'un substrat, ladite oscillation d'excitation étant superposée à une oscillation de détection produite par une force de Coriolis pendant une rotation de la structure annulaire (110). Le capteur de vitesse angulaire microélectromécanique comporte également au moins une structure de couplage (120) qui est reliée à la structure annulaire (110) et qui est conçue de manière à être appropriée pour compenser une erreur de quadrature du capteur de vitesse angulaire (100) conjointement avec des électrodes (130) qui sont fixées au substrat.