METHOD AND SYSTEM FOR REDUCING CHARGING ARTIFACT IN INSPECTION IMAGE

Systems and methods for reducing charging artifacts in an inspection image include obtaining a set of inspection images, in which each of the set of inspection images includes a charging artifact; and training a machine learning model using the set of inspection images as input, in which the machine...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KIERS, Antoine, SMIT, Gijs, MENKOVSKI, Vlado, VAN RENS, Jasper
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Systems and methods for reducing charging artifacts in an inspection image include obtaining a set of inspection images, in which each of the set of inspection images includes a charging artifact; and training a machine learning model using the set of inspection images as input, in which the machine learning model outputs a set of decoupled features of the set of inspection images. Des systèmes et des procédés pour réduire des artéfacts de charge dans une image d'inspection comprennent l'obtention d'un ensemble d'images d'inspection, chacune de l'ensemble d'images d'inspection comprenant un artefact de charge ; et l'entraînement d'un modèle d'apprentissage automatique à l'aide de l'ensemble d'images d'inspection en tant qu'entrée, le modèle d'apprentissage automatique délivrant un ensemble de caractéristiques découplées de l'ensemble d'images d'inspection.