OPTICAL SENSOR FOR REMOTE TEMPERATURE MEASUREMENTS

Aspects of the present disclosure provide a sensor for remote temperature measurement. For example, the sensor can include a light source configured to form an illumination beam, focusing optics configured to direct the illumination beam from the light source onto a semiconductor sample at an illuminated spot thereof, for exciting bandgap photoluminescence (PL) light in the semiconductor sample, collection optics configured to collect the bandgap PL light excited from the semiconductor sample, at least one optical detector configured to measure spectral intensities of the bandgap PL light in a vicinity of a semiconductor bandgap wavelength of the semiconductor sample, and transmission optics configured to transmit the bandgap PL light from the collection optics to the at least one optical detector. Certains aspects de la présente invention concernent un capteur pour une mesure de température à distance. Par exemple, le capteur peut comprendre une source lumineuse configurée pour former un faisceau d'éclairage, une optique de focalisation configurée pour diriger le faisceau d'éclairage provenant de la source lumineuse sur un échantillon de semi-conducteur en un point éclairé de celui-ci, pour exciter une lumière de photoluminescence de bande interdite (PL) dans l'échantillon de semi-conducteur, une optique de collecte configurée pour collecter la lumière de PL de bande interdite excitée à partir de l'échantillon de semi-conducteur, au moins un détecteur optique configuré pour mesurer des intensités spectrales de la lumière de PL de bande interdite au voisinage d'une longueur d'onde de bande interdite de semi-conducteur de l'échantillon de semi-conducteur, et une optique de transmission configurée pour transmettre la lumière de PL de bande interdite de l'optique de collecte au(x) détecteur(s) optique(s).