LIGHT SENSOR, LIGHT DETECTION DEVICE, AND TERAHERTZ/INFRARED FOURIER SPECTROSCOPE
This light sensor comprises: a vibration input unit that generates vibrations on the basis of an input signal; a vibration unit that is formed using a MEMS structure using a silicon material, that vibrates on the basis of vibrations transmitted by the vibration input unit, and that includes a both-e...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | This light sensor comprises: a vibration input unit that generates vibrations on the basis of an input signal; a vibration unit that is formed using a MEMS structure using a silicon material, that vibrates on the basis of vibrations transmitted by the vibration input unit, and that includes a both-end supported beam the resonant frequency of which changes due to the input of light; and a vibration detection unit that detects the vibrations of the both-end supported beam.
Un capteur de lumière comprend : une unité d'entrée de vibrations qui génère des vibrations en fonction d'un signal d'entrée ; une unité de vibrations formée à l'aide d'une structure MEMS utilisant un matériau de silicium, qui vibre en fonction de vibrations transmises par l'unité d'entrée de vibrations, et qui comprend une barre supportée aux deux extrémités dont la fréquence de résonance varie selon l'entrée de lumière ; et une unité de détection de vibrations qui détecte les vibrations de la barre supportée aux deux extrémités.
光センサは、入力信号に基づいて振動を発生する振動入力部と、シリコン素材を用いたMEMS構造により形成され、前記振動入力部により伝達された振動に基づいて振動し、光が入力されることにより共振周波数が変化する両持梁を有する振動部と、前記両持梁の振動を検出する振動検出部と、を備える。 |
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