COMPOSITION, ITS USE AND A PROCESS FOR CLEANING SUBSTRATES COMPRISING COBALT AND COPPER

The present invention relates to an alkaline composition for cleaning a substrate comprising a structure of copper or copper alloy and a structure comprising cobalt or cobalt alloy, the composition comprising: (a) 0.0001 to 0.2 % by weight of a cobalt corrosion inhibitor selected from a surfactant selected from (i) a C10 to C20 alkyl sulfonic acid or a C12 to C24 alkylbenzene sulfonic acid, (ii) a C8 to C17 alkyl phosphonic acid or an amino phosphonic acid of formula I1 (I1) wherein RI1 is C8 to C20 alkyl, RI2 is selected from H, C1 to C6 alkyl, and -XI1-P(O)(OH)2, and XI1 is selected from C1 to C6 alkanediyl, (iii) a C12 to C18 alkyl carboxylic acid or a sarcosine of formula I2 or cocoyl sarcosine (I2) wherein RI1 is C12 to C20 alkyl, RI3 is selected from H, C1 to C6 alkyl, and -XI1-C(O)-OH, and XI1 is selected from C1 to C6 alkanediyl, (iv) a C10 to C20 mono or dialkylester of phosphoric acid, which alkyl groups (i) to (iv) may be interrupted by one or more O or may comprise one or more double bonds, (v) a salt of (i) to (iv); (b) 0.0001 to 0.5 % by weight of a copper corrosion inhibitor selected from benzotriazole, 5- chloro benzotriazole, 4-methyl benzotriazole; 5-methyl benzotriazole; tetrahydro benzotriazole; and methyl-benzotriazole-1-yl)-methyl-imino-bis-ethanol; (c) 0.05 to 1 % by weight of a C2 to C7 monoamino alkanol; and (d) a solvent; wherein the solvent consists essentially of water. La présente invention concerne une composition alcaline pour le nettoyage d'un substrat comprenant une structure de cuivre ou d'alliage de cuivre et une structure comprenant du cobalt ou un alliage de cobalt, la composition comprenant : (a) 0,0001 à 0,2 % en poids d'un inhibiteur de corrosion du cobalt sélectionné parmi un tensioactif sélectionné parmi (i) un acide (alkyl en C10 à C20)sulfonique ou un acide (alkyl en C12 à C24)benzène sulfonique, (ii) un acide (alkyl en C8 à C17)phosphonique ou un acide aminophosphonique de formule i1 (I1) dans laquelle RI1 est un alkyle en C8 à C20, RI2 est sélectionné parmi H, un alkyle en C1 à C6, et-XI1-P (O) (OH) 2, et XI1 est sélectionné parmi un alcanediyle en C1 à C6, (iii) un acide (alkyl en C12 à C18)carboxylique ou une sarcosine de formule I2 ou cocoyl sarcosine (I2) dans laquelle RI1 est un alkyle en C12 à C20, RI3 est sélectionné parmi H, un alkyle en C1 à C6, et -XI1-C(O)-OH, et XI1 est sélectionné parmi un alcanediyle en C1 à C6, (iv) un mono ou di(alkyl en C10 à C20)ester d'acide phosphorique, lesdits groupes alky