SYSTEM AND METHOD FOR DISTORTION ADJUSTMENT DURING INSPECTION

Systems, apparatuses, and methods for adjusting distortion in images. Embodiments include obtaining a plurality of images; determining alignment differences between a plurality of features on the plurality of images and corresponding features in layout data corresponding to the plurality of images;...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DILLEN, Hermanus, FAN, Chi-Hsiang, SPRAU, Peter, CALADO, Victor, VAN MIERLO, Willem, SUN, Yan, KEA, Marc, LU, Michael, TEL, Wim, YIN, Weihua, YU, Yi-Hsien, YEH, Yun- Ling
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Systems, apparatuses, and methods for adjusting distortion in images. Embodiments include obtaining a plurality of images; determining alignment differences between a plurality of features on the plurality of images and corresponding features in layout data corresponding to the plurality of images; modeling the alignment differences; and adjusting at least one of: a machine setting corresponding to obtaining the plurality of images; or at least one feature of the plurality of features on at least one image of the plurality of images using the modeling. La présente divulgation concerne des systèmes, des appareils et des procédés de réglage de distorsion dans des images. Des modes de réalisation comprennent l'obtention d'une pluralité d'images ; la détermination de différences d'alignement entre une pluralité de caractéristiques sur la pluralité d'images et des caractéristiques correspondantes dans des données de disposition correspondant à la pluralité d'images ; la modélisation des différences d'alignement ; et l'ajustement d'au moins l'un parmi : un réglage de machine correspondant à l'obtention de la pluralité d'images ; ou au moins une caractéristique de la pluralité de caractéristiques sur au moins une image de la pluralité d'images à l'aide de la modélisation.