RETICLE CONTAINER HAVING MAGNETIC PARTICLE CAPTURE

Reticle containers include a cover and a baseplate, with magnetic particle traps included in at least one of the cover or the baseplate. The cover and baseplate each include sealing surfaces, and at least one of the sealing surfaces includes magnetic material that can be attracted by the magnetic particle traps. The sealing surfaces can be selected such that particulate generated by wear at the sealing surfaces is primarily the magnetic material. The magnetic particle traps can further be configured to be cleaned by reduction of the attraction of the particulate matter to the magnetic particle traps. La présente invention concerne des récipients à réticule qui comprennent un couvercle et une plaque de base, des pièges à particules magnétiques étant inclus dans le couvercle et/ou la plaque de base. Le couvercle et la plaque de base comprennent chacun des surfaces d'étanchéité, et au moins l'une des surfaces d'étanchéité comprend un matériau magnétique qui peut être attiré par les pièges à particules magnétiques. Les surfaces d'étanchéité peuvent être sélectionnées de manière à ce que les particules générées par l'usure des surfaces d'étanchéité soient principalement constituées de matériau magnétique. Les pièges à particules magnétiques peuvent en outre être configurés pour être nettoyés par réduction de l'attraction de la matière particulaire vers les pièges à particules magnétiques.