CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE, PROJECTION ILLUMINATION SYSTEM AND PROJECTION ILLUMINATION METHOD

Ein katadioptrisches Projektionsobjektiv zur Abbildung eines in einer Objektebene (OS) des Projektionsobjektivs angeordneten Musters in eine zur Objektebene parallele Bildebene des Projektionsobjektivs umfasst eine Vielzahl optischer Elemente, die Linsen und Konkavspiegel (CM) umfassen und zwischen...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BEDER, Susanne, BIELING, Stig, SCHWAB, Markus
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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