CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE, PROJECTION ILLUMINATION SYSTEM AND PROJECTION ILLUMINATION METHOD

Ein katadioptrisches Projektionsobjektiv zur Abbildung eines in einer Objektebene (OS) des Projektionsobjektivs angeordneten Musters in eine zur Objektebene parallele Bildebene des Projektionsobjektivs umfasst eine Vielzahl optischer Elemente, die Linsen und Konkavspiegel (CM) umfassen und zwischen der Objektebene (OS) und der Bildebene (IS) entlang einer optischen Achse (OA) angeordnet sind. Das Projektionsobjektiv (PO) ist als Doppelfeld-Projektionsobjektiv dafür ausgebildet, ein außerhalb der optischen Achse in der Objektebene angeordnetes erstes effektives Objektfeld (OF1) entlang eines ersten Projektionsstrahlengangs (RP1) in ein außerhalb der optischen Achse in der Bildebene liegendes erstes effektives Bildfeld (IF1) und zeitgleich ein dem ersten Objektfeld in Bezug auf die optische Achse gegenüberliegendes, außerhalb der optischen Achse in der Objektebene angeordnetes zweites effektives Objektfeld (OF2) entlang eines zweiten Projektionsstrahlengangs (RP2) in ein außerhalb der optischen Achse in der Bildebene liegendes zweites effektives Bildfeld (IF2) abzubilden. Jeder der Projektionsstrahlengänge weist eine erste Umlenkeinheit (ULE1) zur Umlenkung der von der Objektebene (OS) kommenden Strahlung zu einem Konkavspiegel und eine zweite Umlenkeinheit (ULE2) zur Umlenkung der von dem Konkavspiegel kommenden Strahlung in Richtung der Bildebene (IS) auf. Die optischen Elemente bilden einen ersten Objektivteil (OP1) zur Abbildung jedes der effektiven Objektfelder (OF1, OF2) der Objektebene in ein erstes reelles Zwischenbild (IMI1), einen zweiten Objektivteil (OP2) zur Erzeugung eines zweiten reellen Zwischenbildes (IMI2) mit der von dem ersten Objektivteil (OP1) kommenden Strahlung, sowie einen dritten Objektivteil (OP3) zur Abbildung des zweiten reellen Zwischenbildes (IMI2) in die Bildebene (IS). Im Bereich einer zwischen dem ersten und dem zweiten Zwischenbild liegenden Pupillenfläche (P2) ist der Konkavspiegel (CM) eines Projektionsstrahlengangs angeordnet. Die erste Umlenkeinheit (FM1) ist in optischer Nähe zum ersten Zwischenbild (IMI1) und der zweite Umlenkeinheit (FM2) ist in optischer Nähe zum zweiten Zwischenbild (IMI2) angeordnet. A catadioptric projection objective for reproducing a pattern arranged in an object plane (OS) of the projection objective in an image plane of the projection objective parallel to the object plane comprises a plurality of optical elements, which comprise lenses and concave mirrors (CM) and are arranged between the ob