SYSTEMS AND METHODS TO REDUCE FLOW ACCURACY ERROR FOR LIQUID & GAS MASS FLOW CONTROLLER DEVICES

Exemplary fluid delivery assemblies for a semiconductor processing system may include a liquid delivery source. The assemblies may include a heater that is fluidly coupled with an outlet of the liquid delivery source. The assemblies may include a liquid flow controller that is fluidly coupled with the liquid delivery source downstream of the heater. The assemblies may include a liquid vaporizer fluidly coupled with a downstream end of the liquid flow controller. The assemblies may include a chamber delivery line coupled with an output of the liquid vaporizer. Des exemples d'ensembles de distribution de fluide pour un système de traitement de semi-conducteurs peuvent comprendre une source de distribution de liquide. Les ensembles peuvent comprendre un dispositif de chauffage qui est en communication fluidique avec une sortie de la source de distribution de liquide. Les ensembles peuvent comprendre un dispositif de commande de débit de liquide qui est couplé de manière fluidique à la source de distribution de liquide en aval du dispositif de chauffage. Les ensembles peuvent comprendre un vaporisateur de liquide couplé de manière fluidique à une extrémité aval du dispositif de commande de débit de liquide. Les ensembles peuvent comprendre une ligne de distribution de chambre couplée à une sortie du vaporisateur de liquide.