METHOD AND CARRIER SUBSTRATE FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR COMPONENT

Vorgestellt wird ein Verfahren (600) zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes (100) mit wenigstens einem freiliegenden Membranabschnitt, wobei das Verfahren (600) die folgenden Schritte aufweist: - Bereitstellen (610) eines Halbleitermaterials (102), das ein mit einer Passivierungsschicht (108)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GRIMM, Daniel, PANITZ, Meik, TILKE, Martin, ZYBELL, Sabine, RAUPACH, Lutz
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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