OPTICAL INTERFERENCE MEASURING DEVICE

An optical interference measuring device according to the present invention is configured such that when light adjusted to equal frequency intervals by an optical comb generation filter 205 is incident and irradiated onto a measurement object W from a measurement head 207, the light adjusted to equal frequency intervals by the optical comb generation filter 205 is split into measurement light and reference light by a light splitting means 208, and interference light in which the reference light and reflected light of the measurement light from the measurement object W are combined is detected by an interference light detection means 210. La présente invention concerne un dispositif de mesure d'interférence optique configuré de sorte que lorsque la lumière ajustée à des intervalles de fréquence égaux par un filtre de génération de peigne optique (205) est incidente et irradiée sur un objet de mesure W à partir d'une tête de mesure (207), la lumière ajustée à des intervalles de fréquence égaux par le filtre de génération de peigne optique (205) est divisée en une lumière de mesure et une lumière de référence par un moyen de division de lumière (208), et une lumière d'interférence dans laquelle la lumière de référence et la lumière réfléchie de la lumière de mesure provenant de l'objet de mesure W sont combinées est détectée par un moyen de détection de lumière d'interférence (210). 光コム発生フィルタ２０５により等周波数間隔に調整された光が入射されて測定ヘッド２０７から測定対象Ｗに照射するとき、光コム発生フィルタ２０５により等周波数間隔に調整された光を測定光と参照光とに光分割手段２０８で分割し、測定光の測定対象Ｗからの反射光と参照光とが合波された干渉光を干渉光検出手段２１０で検出する。