IMAGING SYSTEM AND IMAGING METHOD

The present invention improves throughput before observation of a lamella is completed, and also automatically makes corrections even when the lamella is greatly inclined. An imaging system 10 of the present disclosure comprises: a surface shape measurement device 3 which measures three-dimensional coordinate information about the surface shape of a lamella having a layered structure; a computer system 1 which, on the basis of the three-dimensional coordinate information measured by the surface shape measurement device 3, calculates correction information for correcting the angle and height of the lamella during imaging of the lamella, and which transmits the calculated correction information; and a charged particle beam device 4 which receives the correction information, corrects the angle and height of the lamella on the basis of the correction information, and irradiates the lamella of which the angle and height have been corrected with a charged particle beam to image the lamella. La présente invention améliore le débit avant que l'observation d'une lamelle soit achevée, et effectue également de manière automatique des corrections même lorsque la lamelle est fortement inclinée. Un système d'imagerie 10 de la présente divulgation comprend : un dispositif de mesure de forme de surface 3 qui mesure des informations de coordonnées tridimensionnelles concernant la forme de surface d'une lamelle ayant une structure en couches ; un système informatique 1 qui, sur la base des informations de coordonnées tridimensionnelles mesurées par le dispositif de mesure de forme de surface 3, calcule des informations de correction pour corriger l'angle et la hauteur de la lamelle pendant l'imagerie de la lamelle, et qui transmet les informations de correction calculées ; et un dispositif à faisceau de particules chargées 4 qui reçoit les informations de correction, corrige l'angle et la hauteur de la lamelle sur la base des informations de correction, et irradie la lamelle dont l'angle et la hauteur ont été corrigés avec un faisceau de particules chargées pour imager la lamelle. ラメラの観察が完了するまでのスループットを向上させ、且つ、ラメラが大きく傾いたとしても自動で補正する。本開示の撮像システム１０は、積層構造を有するラメラの表面形状の３次元座標情報を計測する表面形状計測装置３と、表面形状計測装置３によって計測された３次元座標情報に基づいて、ラメラの撮像時にラメラの角度及び高さを補正するための補正情報を算出し、算出した補正情報を送信するコンピュータシステム１と、補正情報を受信し、補正情報に基づいてラメラの角度及び高さを補正し、角度及び高さが補正されたラメラに荷電粒子ビームを照射してラメラを撮像する荷電粒子ビーム装置４と、を備える。