MICROSCANNER HAVING HETEROGENEOUS PIEZO ELEMENTS, AND METHOD FOR PRODUCING SAME

Ein Mikroscanner (100) zum Projizieren von elektromagnetischer Strahlung auf ein Beobachtungsfeld weist auf: eine Tragestruktur (105) mit einem daran aufgehängten Ablenkelement (110) zum Ablenken eines einfallenden elektromagnetischen Strahls, wobei das Ablenkelement (110) an der Tragestruktur (105) derart schwingfähig aufgehängt ist, dass es relativ zur Tragestruktur (105) eine rotatorische Oszillation um zumindest eine Schwingungsachse ausführen kann, um durch Reflektion eines während der Oszillation auf das Ablenkelement (110) einfallenden elektromagnetischen Strahls eine Projektion des Strahls in ein Beobachtungsfeld zu bewirken; eine Antriebseinrichtung mit zumindest einem ersten, als Piezoaktor wirkenden Piezoelement (120) zum Antrieb der Oszillation des Ablenkelements (110), wobei das erste Piezoelement (120) ein erstes piezoelektrisches Material mit einem ersten für den Antrieb der Oszillation relevanten piezoelektrischen Koeffizienten PK mit einem Wert PK1 aufweist; und eine Sensoreinrichtung mit zumindest einem zweiten, als Piezosensor wirkenden Piezoelement (125) zum Detektieren einer zeitabhängigen Lage des Ablenkelements (110) während dessen Oszillation, wobei das zweite Piezoelement (125) ein von dem ersten piezoelektrischen Material verschiedenes zweites piezoelektrisches Material aufweist, das bezüglich des Piezoeffekts hysteresefrei ist oder eine geringere Hysterese aufweist als das erste Piezomaterial, und für das der piezoelektrischen Koeffizienten PK einen Wert PK2 aufweist, so dass |PK2| < |PK1| gilt. Insbesondere kann |PK2|