COATING INTERIOR SURFACES OF COMPLEX BODIES BY ATOMIC LAYER DEPOSITION

A method includes affixing a supply apparatus to inlets for one or more channels of a chamber component. The channels provide one or more gas flow paths between a first side of the chamber component that comprises the inlets and a second side of the chamber component comprising outlets of the one or more channels. The method further includes affixing an exhaust apparatus to the outlets of the one or more channels. The method further includes performing a plurality of atomic layer deposition cycles to deposit a corrosion resistant coating on interior surfaces of the one or more channels of the chamber component. Selon la présente invention, un procédé comprend la fixation d'un appareil d'alimentation à des entrées d'un ou plusieurs canaux d'un composant de chambre. Les canaux fournissent un ou plusieurs trajets d'écoulement de gaz entre un premier côté du composant de chambre qui comprend les entrées et un second côté du composant de chambre qui comprend les sorties du ou des canaux. Le procédé comprend en outre la fixation d'un appareil d'échappement aux sorties du ou des canaux. Le procédé comprend en outre la réalisation d'une pluralité de cycles de dépôt de couche atomique pour déposer un revêtement résistant à la corrosion sur des surfaces intérieures du ou des canaux du composant de chambre.