METHOD AND DEVICE FOR MEASURING A PROCESS IN AN OBJECT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Vermessung zumindest eines Ablaufs in einem Objekt. Dabei wird ein Wechselfeld in das Objekt eingestrahlt und empfangen, nachdem es das Objekt durchlaufen hat. Mit einem statistischen Modell wird dann zeitabhängig zumindest ein Merkmal de...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: RADLER, Philipp, BEDNORZ, Moritz, LEBHARDT, Philipp, LANGEJÜRGEN, Jens, CHEN, Julia, RINGKAMP, Jan
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
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