REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT FOR A WAVELENGTH IN THE EXTREME ULTRAVIOLET WAVELENGTH RANGE

Es wird ein reflektives optisches Element für eine Wellenlänge im extrem ultravioletten Wellenlängenbereich, aufweisend ein Substrat und eine als Viellagensystem ausgebildete reflektierende Beschichtung, wobei das Viellagensystem Lagen aus mindestens zwei verschiedene Basismaterialien (56, 57) mit unterschiedlichem Realteil des Brechungsindex bei einer Wellenlänge im extrem ultravioletten Wellenlängenbereich aufweist, die alternierend angeordnet sind, und an dem sich bei Reflexion einer Wellenlänge im extrem ultravioletten Wellenlängenbereich sich eine stehende Welle eines elektrischen Feldes ausbildet, wobei das Viellagensystem mindestens in einer Lage (157) an einer Stelle extremaler Feldintensität der stehenden Welle ein weiteres Material aufweist, das in der mindestens einen Lage (157) an einer Stelle extremaler Feldintensität eines der mindestens zwei verschiedenen Basismaterialien zumindest teilweise ersetzt, vorgeschlagen, bei dem das reflektive optische Element an mindestens einer Stelle minimaler Feldintensität als weiteres Material ein Material aufweist, das eine größere Absorption bei der reflektierten Wellenlänge aufweist als das zumindest teilweise ersetzte. Es weist eine höhere Reflektivität auf als ein entsprechendes reflektives optisches Element ohne weiteres Material an einer Stelle extremaler Feldintensität. The invention relates to a reflective optical element for a wavelength in the extreme ultraviolet wavelength range, comprising a substrate and a reflective coating designed as a multi-layer system, wherein the multi-layer system has layers made of at least two different base materials (56, 57) with a different real part of the refractive index for a wavelength in the extreme ultraviolet wavelength range, which are alternatingly arranged, and on which a standing wave of an electrical field is formed with the reflection of a wavelength in the extreme ultraviolet wavelength range, wherein the multi-layer system has another material at least in a layer (157) at a point of extreme field intensity of the standing wave, which material at least partially replaces one of the at least two different base materials in the at least one layer (157) at a point of extreme field intensity, wherein the reflective optical element has a material as the other material at at least one point of minimal field intensity, which has greater absorption for the reflected wavelength than the at least partially replaced one. It has a higher reflectivity than a corr