ELECTRO-OPTICAL DEVICE

An electro-optical device for use in a laser system of a radiation system, the device comprising an electro-optical element having a first surface and a second surface, the electro-optical element being formed from a material that is optically transparent to a laser beam generated by the laser syste...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LE FEBER, Boris, MULDER, Heine
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An electro-optical device for use in a laser system of a radiation system, the device comprising an electro-optical element having a first surface and a second surface, the electro-optical element being formed from a material that is optically transparent to a laser beam generated by the laser system and an antireflection structure formed from the material on at least one of the first surface and the second surface of the electro-optical element, the antireflection structure comprising a plurality of nanostructures. L'invention concerne un dispositif électro-optique destiné à être utilisé dans un système laser d'un système de rayonnement, le dispositif comprenant un élément électro-optique ayant une première surface et une seconde surface, l'élément électro-optique étant formé à partir d'un matériau qui est optiquement transparent à un faisceau laser généré par le système laser et une structure antireflet formée à partir du matériau sur la première surface et/ou la seconde surface de l'élément électro-optique, la structure antireflet comprenant une pluralité de nanostructures.