INSPECTION WITH PREVIOUS STEP SUBTRACTION

An inspection system may generate first-step images of multiple sample regions after a first process step and generate second-step images of the sample regions after a second process step, where the second process step modifies the sample in at least one of the sample regions. The system may further identify one of the sample regions as a test region and at least some of the remaining sample regions as comparison regions, where the second-step image of the test region is a test image and the second-step images of the comparison regions are comparison images. The system may further generate a multi-step difference image by subtracting a combination of at least one of the second-step comparison images and at least two of the first-step images from the test image. The system may further identify defects in the test region associated with the second process step based on the multi-step difference image. La présente invention concerne un système d'inspection qui peut générer des images de première étape de multiples régions d'échantillon après une première étape de traitement et générer des images de seconde étape des régions d'échantillon après une seconde étape de traitement, la seconde étape de traitement modifiant l'échantillon dans au moins l'une des régions d'échantillon. Le système peut en outre identifier l'une des régions d'échantillon en tant que région de test et au moins certaines des régions d'échantillon restantes en tant que régions de comparaison, l'image de seconde étape de la région de test étant une image de test et les images de seconde étape des régions de comparaison étant des images de comparaison. Le système peut en outre générer une image de différence à étapes multiples par soustraction d'une combinaison d'au moins l'une des images de comparaison de seconde étape et d'au moins deux des images de première étape à partir de l'image de test. Le système peut en outre identifier des défauts dans la région de test associée à la seconde étape de traitement sur la base de l'image de différence à étapes multiples.