OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY APPARATUS, OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY SYSTEM, OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY METHOD AND INSPECTION METHOD

Provided is an optical coherence tomography apparatus or the like capable of performing tomography over a wide range at once and also capable of performing tomography of a distant object. The optical coherence tomography apparatus comprises an objective lens condensing light from a light source onto a sample and performs tomography of the sample on the basis of interference of sample light, which is reflected light from the sample, and reference light, which is reflected light from a reference surface provided between the objective lens and the sample, wherein both the sample light and the reference light pass through the objective lens, the sample is irradiated at a wide angle with the light from the light source that has passed through the objective lens, and the reference surface is configured of a light scatterer. L'invention concerne un appareil de tomographie par cohérence optique ou analogue, permettant d'effectuer une tomographie sur une large plage en une seule fois, ainsi qu'une tomographie d'un objet éloigné. L'appareil de tomographie par cohérence optique comprend une lentille d'objectif qui condense la lumière d'une source lumineuse sur un échantillon et effectue la tomographie de l'échantillon sur la base de l'interférence de la lumière de l'échantillon, qui est la lumière réfléchie par l'échantillon, et de la lumière de référence, qui est la lumière réfléchie par une surface de référence située entre la lentille d'objectif et l'échantillon, la lumière de l'échantillon et la lumière de référence traversant toutes deux la lentille d'objectif, l'échantillon étant irradié selon un grand angle par la lumière de la source lumineuse qui a traversé la lentille d'objectif, et la surface de référence étant configurée comme un diffuseur de lumière. 一度に広範囲を断層撮影すること、及び、離れた所にある対象を断層撮影することが可能な光干渉断層撮影装置等を提供する。光源からの光を試料に集光する対物レンズを備え、前記試料からの反射光である試料光と、前記対物レンズと前記試料との間に設けられる参照面からの反射光である参照光との干渉に基づいて前記試料の断層撮影を行う光干渉断層撮影装置であって、前記試料光及び参照光の両方が前記対物レンズを通過し、前記対物レンズを通過した光源からの光が前記試料に広角に照射され、前記参照面は、光散乱体により構成される光干渉断層撮影装置である。