DUAL CHANNEL SHOWERHEAD ASSEMBLY

Dual channel showerhead assemblies are described. In some embodiments, the dual channel showerhead assemblies, which include a showerhead upper plate and a showerhead lower plate, enable delivery of mutually incompatible precursors along separate channels that mix in the process zone above a wafer. The dual channel showerhead assemblies provide at least two separate gas paths. In some embodiments, the hole design and hole distribution are configured for minimal jetting effect and plenum volumes for fast purging. The dual channel showerhead assemblies described herein may have a reduced purge out time compared to single channel showerheads, spiral dual channel showerheads, and bonded dual channel showerheads. L'invention concerne des ensembles douchettes à deux canaux. Dans certains modes de réalisation, les ensembles douchettes à deux canaux, qui comprennent une plaque supérieure de douchette et une plaque inférieure de douchette, permettent la distribution de précurseurs mutuellement incompatibles le long de canaux séparés qui se mélangent dans la zone de traitement au-dessus d'une tranche. Les ensembles douchettes à deux canaux fournissent au moins deux trajets de gaz séparés. Dans certains modes de réalisation, la conception des trous et la distribution des trous sont configurées pour un effet de jet et des volumes de plénum minimaux pour une purge rapide. Les ensembles douchettes à deux canaux de l'invention peuvent avoir un temps de purge réduit par rapport à des douchettes à canal unique, des douchettes à deux canaux en spirale et des douchettes à deux canaux liés.