SHOWERHEAD ASSEMBLY AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS FOR IMPROVING DEPOSITION THICKNESS UNIFORMITY

A showerhead assembly includes a showerhead with an upper portion including a gas channel extending in a first direction and having a first width in a second direction. A lower portion is connected to the upper portion and includes a faceplate including a plurality of gas through holes extending ver...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JEON, Eli, CHEN, Philip, HART, Kyle Watt, AGNEW, Douglas Walter, PODDAR, Debotosh, BOATRIGHT, Daniel, SUBRAMANYA, Kashyap
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A showerhead assembly includes a showerhead with an upper portion including a gas channel extending in a first direction and having a first width in a second direction. A lower portion is connected to the upper portion and includes a faceplate including a plurality of gas through holes extending vertically through the faceplate in the first direction and a baffle plate arranged on a plurality of posts above the faceplate and below an outlet of the gas channel. A gas plenum is defined between the upper portion and the lower portion, extends in the second direction, and is in fluid communication with the gas channel. The showerhead assembly includes a back side gas system to supply gas to a bellows volume defined by a bellows arranged around an upper portion of the showerhead. First and second annular gas flows are supplied across an outer surface of the showerhead. La présente invention concerne un ensemble pomme de douche qui comprend une pomme de douche avec une partie supérieure comprenant un canal de gaz s'étendant dans une première direction et ayant une première largeur dans une seconde direction. Une partie inférieure est reliée à la partie supérieure et comprend une plaque frontale comprenant une pluralité de trous traversants de gaz s'étendant verticalement à travers la plaque frontale dans la première direction et une plaque déflectrice agencée sur une pluralité de montants au-dessus de la plaque frontale et au-dessous d'une sortie du canal de gaz. Un plénum de gaz est défini entre la partie supérieure et la partie inférieure, s'étend dans la seconde direction et est en communication fluidique avec le canal de gaz. L'ensemble pomme de douche comprend un système de gaz côté arrière pour fournir du gaz à un volume de soufflet défini par un soufflet agencé autour d'une partie supérieure de la pomme de douche. Des premier et second flux de gaz annulaires sont fournis à travers une surface externe de la pomme de douche.