DEVICE DIAGNOSIS SYSTEM, DEVICE DIAGNOSIS DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION SYSTEM, AND DEVICE DIAGNOSIS METHOD

This device diagnosis system for diagnosing the state of a semiconductor production device comprises a device diagnosis device in which: sensor data collected from the semiconductor production device is used as input to output, from a first algorithm, a soundness index; the soundness index is used as input to output, from a second algorithm, threshold value space data during normal operation of the semiconductor production device; and the soundness index and the threshold value space data are used as input to diagnose, with a third algorithm, the state of the semiconductor production device. The soundness index pertains to the soundness of the state of the semiconductor production device. Ce système de diagnostic de dispositif permettant de diagnostiquer l'état d'un dispositif de production de semi-conducteur comprend un dispositif de diagnostic de dispositif dans lequel : des données de capteur collectées à partir du dispositif de production de semi-conducteur sont utilisées en tant qu'entrée pour délivrer, à partir d'un premier algorithme, un indice de solidité ; l'indice de solidité est utilisé en tant qu'entrée pour délivrer, à partir d'un deuxième algorithme, des données d'espace de valeur de seuil pendant le fonctionnement normal du dispositif de production de semi-conducteur ; et l'indice de solidité et les données d'espace de valeur de seuil sont utilisés en tant qu'entrée pour diagnostiquer, avec un troisième algorithme, l'état du dispositif de production de semi-conducteur. L'indice de solidité se rapporte à la solidité de l'état du dispositif de production de semi-conducteur. 半導体製造装置の状態を診断する装置診断システムは、半導体製造装置から収集されたセンサデータを入力として第一のアルゴリズムにより健全度指標が出力され、健全度指標を入力として第二のアルゴリズムにより半導体製造装置の正常時の閾値空間データが出力され、健全度指標と閾値空間データを入力として第三のアルゴリズムにより半導体製造装置の状態が診断される装置診断装置を備える。健全度指標は、半導体製造装置の状態の健全度に関する指標である。