FEEDBACK CONTROL SYSTEMS FOR IMPEDANCE MATCHING

Methods, systems, and media for feedback control systems for impedance matching are described. A computer program product for an impedance matching and power distribution network is disclosed. The computer program product may comprise computer-executable instructions which may cause obtaining, at a present time, present values of variable reactances associated with a station of a process chamber, wherein the variable reactances are associated with a first feedback control system for performing impedance matching for the process chamber, and wherein frequency tuning is being performed on an RF generator of the process chamber in association with a second feedback control system for performing impedance matching for the process chamber. The instructions may cause determining updated values of the variable reactances for the station to be utilized in connection with the first feedback control system based at least in part on an error associated with the second feedback control system. Sont décrits des procédés, des systèmes et des supports pour des systèmes d'asservissement pour une adaptation d'impédance. Un produit-programme informatique pour un réseau d'adaptation d'impédance et de distribution d'énergie est divulgué. Le produit-programme informatique peut comprendre des instructions exécutables par ordinateur qui peuvent provoquer l'obtention, à un instant actuel, de valeurs actuelles de réactances variables associées à une station d'une chambre de traitement, les réactances variables étant associées à un premier système d'asservissement pour effectuer une adaptation d'impédance pour la chambre de traitement, et un accord en fréquence étant effectué sur un générateur RF de la chambre de traitement en association avec un second système d'asservissement pour effectuer une adaptation d'impédance pour la chambre de traitement. Les instructions peuvent provoquer la détermination de valeurs mises à jour des réactances variables pour la station à utiliser en association avec le premier système d'asservissement sur la base, au moins en partie, d'une erreur associée au second système d'asservissement.