ILLUMINATION ARRANGEMENT FOR A METROLOGY DEVICE AND ASSOCIATED METHOD

Disclosed is an illumination arrangement for providing at least one radiation beam for use as an illumination beam and/or reference beam in a metrology device. The illumination arrangement comprises at least one radiation beam modifier module operable to receive source illumination and output a modified radiation beam comprising a first beam component and a second beam component. Each radiation beam modifier module comprises at least one path length varying arrangement for controllably varying the optical path length of at least one of said first beam component and said second beam component, such that said first beam component and second beam component of said modified radiation beam comprise a respective different optical path length. L'invention concerne un agencement d'éclairage servant à fournir au moins un faisceau de rayonnement destiné à être utilisé en tant que faisceau d'éclairage et/ou en tant que faisceau de référence dans un dispositif de métrologie. L'agencement d'éclairage comprend au moins un module modificateur de faisceau de rayonnement pouvant être utilisé pour recevoir un éclairage source et pour émettre un faisceau de rayonnement modifié comprenant un premier composant de faisceau et un second composant de faisceau. Chaque module modificateur de faisceau de rayonnement comprend au moins un agencement de variation de longueur de trajet servant à faire varier de manière contrôlable la longueur de trajet optique dudit premier composant de faisceau et/ou dudit second composant de faisceau, de telle sorte que ledit premier composant de faisceau et ledit second composant de faisceau dudit faisceau de rayonnement modifié comprennent chacun une longueur de trajet optique différente.