NON-CONTACT OPTICAL METROLOGY SYSTEM TO MEASURE SIMULTANEOUSLY THE RELATIVE PISTON AND THE RELATIVE INCLINATION IN TWO AXES (TIP AND TILT) BETWEEN TWO REFLECTIVE SURFACES

The invention relates to a non-contact optical metrology system to measure simultaneously the relative piston and the relative inclination in two axes (tip and tilt) between two low curvature reflective surfaces using partially coherent light interferometry. The proposed system creates an interference pattern with partially coherent light from the linear phase change induced by a double prism system or equivalent, which allows the measurement of the relative piston and the inclination in two axes (tip and tilt) between the reflective surfaces. The relative piston between the mirrors is measured from the position of the interference pattern, the relative inclination in one axis (tip) from the distance between the fringes, and the relative inclination in the other axis from the inclination of the fringes. Relative piston measurements and relative inclination measurements in two axes are decoupled and can be extracted with simple morphological operations, without the need for marginal processing algorithms. L'invention concerne un système de métrologie optique sans contact pour mesurer simultanément le piston relatif et l'inclinaison relative dans deux axes (pointe et inclinaison) entre deux surfaces réfléchissantes à faible courbure au moyen de l'interférométrie en lumière partiellement cohérente. Le système proposé crée un motif d'interférence avec une lumière partiellement cohérente provenant du changement de phase linéaire induit par un système à double prisme ou équivalent, ce qui permet la mesure du piston relatif et l'inclinaison dans deux axes (pointe et inclinaison) entre les surfaces réfléchissantes. Le piston relatif entre les miroirs est mesuré à partir de la position de la figure d'interférence, l'inclinaison relative dans un axe (pointe) à partir de la distance entre les franges, et l'inclinaison relative dans l'autre axe à partir de l'inclinaison des franges. Les mesures du piston relatif et de l'inclinaison relative dans deux axes sont découplées et peuvent être extraites à l'aide de simples opérations morphologiques, sans nécessiter d'algorithme de traitement marginal.